ឧបករណ៍បញ្ជាថាមពលស៊េរី TPM5 ទទួលយកគំនិតរចនាម៉ូឌុល និងរួមបញ្ចូលរហូតដល់ 6 សៀគ្វីនៅខាងក្នុង។ផលិតផលត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងចង្រ្កានសាយភាយ, PECVD, furnaces epitaxy ជាដើម។