ឧបករណ៍ផ្គូផ្គងស៊េរី RMA
-
ឧបករណ៍ផ្គូផ្គងស៊េរី RMA
វាអាចត្រូវបានសម្របទៅនឹងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល RF ស៊េរី RLS ហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងការ etching plasma, coating, plasma cleaning, plasma degumming និងដំណើរការផ្សេងទៀត។ នៅពេលប្រើតែម្នាក់ឯង វាអាចប្រើរួមគ្នាជាមួយការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល RF របស់អ្នកផលិតផ្សេងទៀត។