ថាមពលមីក្រូវ៉េវ
-
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលមីក្រូវ៉េវ
ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្ដូរមីក្រូវ៉េវ គឺជាប្រភេទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលមីក្រូវ៉េវ ដោយផ្អែកលើបច្ចេកវិទ្យា IGBT ប្រេកង់ខ្ពស់ Inverter ។ វារួមបញ្ចូលការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលតង់ស្យុងខ្ពស់ anode ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល filament និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលវាលម៉ាញេទិក (លើកលែងតែការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលមីក្រូវ៉េវ 3kW) ។ រលកមេដែកផ្តល់នូវលក្ខខណ្ឌការងារ។ ផលិតផលនេះត្រូវបានប្រើនៅក្នុង MPCVD, microwave plasma etching, microwave plasma degumming និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។