ការដាក់ប្រាក់
ទទួលបានការយល់ដឹង និងបង្កើនល្បឿនដំណើរការអភិវឌ្ឍន៍។
Advanced Energy ផ្តល់នូវការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល និងដំណោះស្រាយគ្រប់គ្រងសម្រាប់កម្មវិធីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងសំខាន់ៗ និងធរណីមាត្រឧបករណ៍។ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមក្នុងដំណើរការ wafer ដំណោះស្រាយការបំប្លែងថាមពលដ៏ជាក់លាក់របស់យើងអនុញ្ញាតឱ្យអ្នកបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថាមពល ភាពត្រឹមត្រូវ ល្បឿន និងដំណើរការឡើងវិញ។
យើងផ្តល់ជូននូវជួរដ៏ធំទូលាយនៃប្រេកង់ RF ប្រព័ន្ធថាមពល DC កម្រិតទិន្នផលថាមពលតាមតម្រូវការ បច្ចេកវិទ្យាដែលត្រូវគ្នា និងដំណោះស្រាយត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពខ្សែកាបអុបទិក ដែលពិតជាអាចឱ្យអ្នកគ្រប់គ្រងដំណើរការប្លាស្មាបានប្រសើរជាងមុន។យើងក៏រួមបញ្ចូល Fast DAQ™ និងឈុតទទួលទិន្នន័យ និងលទ្ធភាពប្រើប្រាស់របស់យើង ដើម្បីផ្តល់នូវការយល់ដឹងអំពីដំណើរការ និងបង្កើនល្បឿនដំណើរការអភិវឌ្ឍន៍។
ស្វែងយល់បន្ថែមអំពីដំណើរការផលិត semiconductor របស់យើង ដើម្បីស្វែងរកដំណោះស្រាយដែលសមនឹងតម្រូវការរបស់អ្នក។
ការប្រកួតប្រជែងរបស់អ្នក។
ពីខ្សែភាពយន្តដែលប្រើដើម្បីធ្វើគំរូវិមាត្រសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាទៅខ្សែភាពយន្តដែលមានចរន្តអគ្គិសនី និងអ៊ីសូឡង់ (រចនាសម្ព័ន្ធអគ្គិសនី) ដល់ខ្សែភាពយន្តដែក (ការភ្ជាប់គ្នា) ដំណើរការនៃការដាក់ប្រាក់របស់អ្នកទាមទារការគ្រប់គ្រងកម្រិតអាតូមិច — មិនត្រឹមតែសម្រាប់លក្ខណៈពិសេសនីមួយៗប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែនៅទូទាំង wafer ទាំងមូល។
លើសពីរចនាសម្ព័នខ្លួនវា ខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់របស់អ្នកត្រូវតែមានគុណភាពខ្ពស់។ពួកគេត្រូវតែមានរចនាសម្ព័ន្ធគ្រាប់ធញ្ញជាតិដែលចង់បាន ភាពស្មើគ្នា និងកម្រាស់សមស្រប ហើយត្រូវទុកជាមោឃៈ ហើយនោះជាការបន្ថែមទៅលើការផ្តល់នូវភាពតានតឹងផ្នែកមេកានិចដែលត្រូវការ (កម្លាំងបង្ហាប់ និងតង់ស៊ីតេ) និងលក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី។
ភាពស្មុគស្មាញគ្រាន់តែបន្តកើនឡើង។ដើម្បីដោះស្រាយដែនកំណត់ lithography (sub-1X nm nodes) បច្ចេកទេសធ្វើលំនាំទ្វេរដង និងបួនជ្រុងដែលតម្រឹមដោយខ្លួនឯងតម្រូវឱ្យដំណើរការនៃការដាក់ប្រាក់របស់អ្នកដើម្បីបង្កើត និងផលិតឡើងវិញនូវលំនាំនៅលើគ្រប់ wafer ។
ដំណោះស្រាយរបស់យើង។
នៅពេលអ្នកដាក់ឱ្យប្រើប្រាស់កម្មវិធីដាក់ប្រាក់ដ៏សំខាន់បំផុត និងធរណីមាត្រឧបករណ៍ អ្នកត្រូវការអ្នកដឹកនាំទីផ្សារដែលអាចទុកចិត្តបាន។
ការផ្តល់ថាមពល RF របស់ Advanced Energy និងបច្ចេកវិទ្យាផ្គូផ្គងល្បឿនខ្ពស់អាចឱ្យអ្នកប្ដូរតាមបំណង និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថាមពល ភាពជាក់លាក់ ល្បឿន និងដំណើរការឡើងវិញដែលទាមទារសម្រាប់ដំណើរការ PECVD និង PEALD កម្រិតខ្ពស់ទាំងអស់។
ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាម៉ាស៊ីនភ្លើង DC របស់យើងដើម្បីកែសម្រួលការឆ្លើយតបធ្នូដែលអាចកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធរបស់អ្នកបាន ភាពត្រឹមត្រូវនៃថាមពល ល្បឿន និងដំណើរការឡើងវិញដែលទាមទារ PVD (sputtering) និងដំណើរការដាក់ប្រាក់ ECD ។
អត្ថប្រយោជន៍
● ស្ថេរភាពប្លាស្មាប្រសើរឡើង និងដំណើរការដដែលៗបង្កើនទិន្នផល
● ការចែកចាយ RF និង DC ច្បាស់លាស់ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងឌីជីថលពេញលេញជួយបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ
● ការឆ្លើយតបរហ័សចំពោះការផ្លាស់ប្តូរប្លាស្មា និងការគ្រប់គ្រងធ្នូ
● ការលោតច្រើនកម្រិតជាមួយនឹងការលៃតម្រូវប្រេកង់អាដាប់ធ័រធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការជ្រើសរើសអត្រា etch
● មានការគាំទ្រជាសកលដើម្បីធានាបាននូវពេលវេលាដំណើរការអតិបរមា និងដំណើរការផលិតផល